- 共面度與正位度檢測一次到位
- 球高30μm ~ 600μm 皆適用
- 檢測精度
X/Y 向解析度(X/Y Resolution) : 5um
Z 向解析度(Z Resolution) : 0.5um
檢測速度 : 150mm/ 秒
- 光源配置
405 nm, 120mW, 極小線寬20um, 大功率
450 nm, 60mW, 極小線寬25um, 中等功率
- 詳細規格,歡迎洽詢
X/Y 向解析度(X/Y Resolution) : 5um
Z 向解析度(Z Resolution) : 0.5um
檢測速度 : 150mm/ 秒
405 nm, 120mW, 極小線寬20um, 大功率
450 nm, 60mW, 極小線寬25um, 中等功率