- 共面度與正位度檢測一次到位
- 不同大小的視野需求皆可量身打造
- 檢測精度
X/Y 向解析度(X/Y Resolution) : 10um
Z 向解析度(Z Resolution) : 1um
檢測速度 : 300mm/ 秒
Z 向解析度(Z Resolution) : 1um
檢測速度 : 300mm/ 秒
- 光源配置
405 nm, 30mW, 極小線寬20um, 大功率
450 nm, 60mW, 極小線寬25um, 中等功率
450 nm, 60mW, 極小線寬25um, 中等功率
- 詳細規格，歡迎洽詢。