解決方案
SOLUTION

Wafer 蝕刻粗糙度檢測

DETAILS
  • 粗糙度與尺寸寬度檢測一次到位
  • 解決 10um內的超淺深度
          

                    
  • 檢測精度
          X/Y 向解析度(X/Y Resolution) : 5um
          Z 向解析度(Z Resolution) : 0.5um
          檢測速度 : 150mm/ 秒
  • 光源配置
          660 nm, 50mW, 極小線寬10um, 大功率
          450 nm, 30mW, 極小線寬25um, 中等功率
  • 詳細規格，歡迎洽詢。
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