疊平面度與瑕疵檢測一次到位 透過角度的設計得到完美圖面 檢測精度 X/Y 向解析度(X/Y Resolution) : 30um Z 向解析度(Z Resolution) : 5um 檢測速度 : 500mm/ 秒 光源配置 405 nm, 120mW, 極小線寬20um, 大功率 450 nm, 60mW, 極小線寬25um, 中等功率 詳細規格,歡迎洽詢。