產品列表
PRODUCTS

彩色共軛焦線掃描感測器

在工業製造領域中,CHRocodile CLS 線掃描感測器是精確 3D 線上檢測的理想工具。該感測器提供沿線樣品的超精確距離和層厚度資料。透過快速線掃描,可以在很短的時間內確定樣品的 3D 結構。線感測器的彩色共焦測量技術提供極高的橫向和軸向解析度資料,能夠測量任何型別的材料,即使測量複雜的幾何形狀也不會產生陰影。這種線掃描感測器的典型應用包括測量顯示螢幕或確定半導體晶片的形貌。

 

產品優勢:

1. 無陰影

利用 Precitec 的同軸技術,入射光和探測光將沿著相同的路徑,入射光束和檢測光束之間不存在角度差,因此可測量各種幾何形狀,完美解決了陰影問題。

2. 出色的橫向解析度

針對 CHRocodile CLS 線共焦感測器的各種探頭,我們為客戶提供了各種選擇,從最高 8 mm 的長線到橫向解析度達 1 µm 的短線無一不備。

3. 優質高數值孔徑光學探頭

無論使用者需要執行何種測量,例如測量粗糙度、共面性或凸起高度,Precitec 均可提供不同光學的探頭。 高數值孔徑探頭非常適合高精度非接觸式距離和厚度測量,在鏡面上的測量角度可達 44°,而在散射面的測量角度可達 80°。

4. 高速度

CHRocodile CLS HS 特別針對大面積的快速線上測量進行了完善,測量速度高達 6000 /秒,總計超過 100 萬點/秒。

5. 90°

90° CHRocodile CLS 佔地面積更小,尤其適合空間有限的檢驗設備。

測量速度(線/秒):CHRocodile CLS 最高可達 2000CHRocodile CLS HS 最高可達 6000

線長:0.96 mm4.78 mm(取決於所選光學探頭)

測量範圍:200 µm3900 µm(取決於所選光學探頭)

橫向解析度:1 µm5 µm(取決於所選光學探頭)

與外部裝置同步:觸發輸入,同步輸出,5 個編碼器輸入